微机电系统(MEMS) 元器件、电路及系统集成技术和应用 电子书下载 PDF下载

微机电系统(MEMS) 元器件、电路及系统集成技术和应用
内容简介

本书共19章,分为两大部分:第1~9章为突破性技术部分,讨论各类新型微机电系统(MEMS)器件;第10~19章属应用部分,详细阐述以MEMS为基础的各种新颖的应用。本书各章都具有完整性,既可以单独阅读,也可与其他章节连贯阅读。

本书可供智能系统、军事、航空航天、消费电子、可穿戴设备、智能家居、系统生物技术的合成生物学与微流控技术等领域从事相关MEMS传感器、芯片及系统应用工作的工程师和设计师阅读,也可用作大专院校相关专业本科生、研究生和教师的参考书。


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